超精密加工是当今数控技术、伺服技术、机械制造技术完美的统一。超精加工机床为我国最前沿的科技发展提供了良好的加工手段。

精密加工的发展趋势

高精度、高效率。高精度与高效率是超精密加工永恒的主题。总体来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。

工艺整合化。当今企业间的竞争趋于白热化，高生产效率越来越成为企业赖以生存的条件。在这样的背景下，出现了“以磨代研”甚至“以磨代抛”的呼声。另一方面，使用一台设备完成多种加工（如车削、钻削、铣削、磨削、光整）的趋势越来越明显。

大型化、微型化。为加工航空、航天等领域需要的大型光电子器件（如大型天体望远镜上的反射镜），需要建立大型超精密加工设备。为加工微型电子机械、光电信息等领域需要的微型器件（如微型传感器、微型驱动元件等），需要微型超精密加工设备（但这并不是说加工微小型工件一定需要微小型加工设备）。

超精密加工技术正迎来一个繁荣的时代。鉴于军事、信息等产业对高精度先进陶瓷元件的巨大需求，新的高性能先进陶瓷材料不断涌现，这类材料的超精密加工成为经久不衰的研究热点。超精密切削、超精密磨削、超精密研磨与抛光技术已取得长足的进展，加工后工件表面精度可达纳米级或亚纳米级，并且加工方法日趋多样化。

总的来说，超精密磨削、珩磨等固着磨粒超精密加工技术正在追求游离磨粒加工技术的加工精度，而游离磨粒超精密加工技术正在追求固着磨粒加工的效率。超精密加工技术正向着适于大批量生产的高效高质量、低成本、环境友好的方向发展。